close
Серия вакуумных установок для производства прецизионной оптики NESSY

Серия вакуумных установок для производства прецизионной оптики NESSY – напылительное оборудование для экстремального ультрафиолетового диапазона

- огромный потенциал применения
- непревзойденная воспроизводимость толщины слоя
- отличные стехиометрические показатели покрытий

Серия NESSY

Серия NESSY – новейшее поколение магнетронных напылительных систем компании Bühler Leybold Optics. Они применяются в основном для производства зеркал, работающих в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне (EUV), а их напыление производится в условиях сверхвысокого вакуума (UHV). Установки могут быть использованы как для разработки новых продуктов, так и в серийном производстве. В напылительных установках NESSY может быть установлено до 6 разных прямоугольных катодных мишеней. В качестве испарительных материалов может применяться молибден и кремний совместно с другими элементами, необходимыми для получения зеркального покрытия. В результате многослойное покрытие с необходимыми характеристиками на этом оборудовании может быть полностью нанесено за один рабочий цикл. Революционные технологии будущего
  • Уже стало классикой производство многослойных зеркал из молибдена/кремния с максимальным коэффициентом отражения на длине волны 13,5 нм. Такие зеркала играют важнейшую роль в ультрасовременном оборудовании для фотолитографии, где они используются для концентрации или проецирования ДУФ излучения.
  • Помимо фотолитографии в дальнем ультрафиолете многослойные интерференционные зеркала используются в приборах для измерения рентгеновского излучения, в оптике для синхротронного излучения, в других наукоемких областях. Широкий диапазон напыляемых материалов и возможность работы с подложками сложной формы делают NESSY идеальным инструментом для разработки новых технологий и компонентов.

Непревзойденная точность и стабильность толщины слоя

  • Распылительные источники и сам процесс нанесения обеспечивают исключительную стабильность покрытия, однако первостепенное значение имеет и точное управление движением подложек. Система оснащена планетарным держателем подложек с двойным вращением. Быстрое вращение подложек комбинируется с медленным круговым движением держателя по камере с возможностью регулировки скорости. Результат – идеальное нанесение покрытия на подложки любой геометрии.
  • При толщине промежуточных слоев 7 нм, установки NESSY позволяют достичь непревзойденных субатомных значений точности, необходимых при производстве оптики для работы в ДУФ диапазоне в фотолитографии следующего поколения.
  • Регулируемое расстояние между мишенями и подложками обеспечивает необходимую гибкость для обработки деталей различной толщины.

Нанесение в сверхвысоком вакууме для высочайшего качества
Высокотехнологичная конструкция оборудования серии NESSY позволяет достичь сверхвысокого вакуума и получить идеальное стехиометрическое качество покрытия.

О подразделении Leybold Optics компании Бюлер

В начале 2012 года компания Leybold Optics GmbH присоединилась к швейцарскому концерну Бюлер. После ребрендинга, проведенного в 2015 году, подразделение Leybold Optics стало официально именоваться Бюлер Alzenau GmbH и вошло в подразделение «Прогрессивные материалы» в составе концерна Бюлер.