close
close

Прецизионная оптика

Сферы применения точности и идеального качества

Управление светом — ключевой элемент индустрии прецизионной оптики. Конечные продукты прецизионной оптики применяются в самых различных сферах, например в объективах для камер и мобильных телефонов, приборах ночного видения, лазерах, телекоммуникационном оборудовании и различных датчиках. Подложки, на которые необходимо нанести покрытие, могут быть размером от менее 1 мм до более 4 м, иметь различную форму и состоять из разных материалов. Покрытия для областей глубокого и крайнего ультрафиолета. (DUV и EUV)
Чтобы добиться более высокой разрешающей способности и миниатюризации, разработчики стремятся использовать рентгеновское излучение с длиной волны 13,4 нм, то есть в диапазоне экстремального ультрафиолетового спектра (EUV). Многослойные системы могут состоять из более чем 100 слоев, при этом толщина каждого слоя составляет несколько нанометров. Это требует высокой точности, стабильности и исключительной повторяемости процесса нанесения. Благодаря успешной разработке и поступлению на рынок нашей уникальной системы магнетронного напыления серии NESSY компания Бюлер Leybold Optics готова предложить новое поколение оборудования для приложений EUV-литографии. Эта установка также идеально подходит для других областей использования, например, для создания покрытий для рентгеновской оптики, которые часто специально разрабатываются для измерительных приборов, работающих в пределах строго определенных диапазонов длин волн.

В фотолитографии согласно текущему стандарту используется излучение глубокого ультрафиолетового диапазона (DUV) с длиной волны 193 нм. В серии SYRUSpro компания Бюлер Leybold Optics разработала специальную систему нанесения DUV-покрытий. Оборудование обеспечивает плотное стабильное покрытие, благодаря использованию ионного источника LEYBOLD OPTICS APSpro. Покрытия с фторидами, нанесенные специализированной установкой DUV, отличаются очень низким уровнем потерь и могут применяться в качестве антиотражающих покрытий (AR) объективов в устройствах для фотолитографии. Эта установка может использоваться для нанесения высокоотражающих зеркальных покрытий с отражающей способностью до 99 %.

ИК-покрытия
В приборах ночного видения применяются покрытия с длинами волн 3–5 мкм, 8–12 мкм и выше. Компания Бюлер Leybold Optics разработала множество технологий нанесения покрытий с учетом этих требований. Мы предлагаем антиотражающие, зеркальные покрытия, а также покрытия для различных фильтров, в том числе полосовых. Покрытия с фторидами, используемые для ИК-диапазона, приобретают повышенную износостойкость и стойкость к воздействиям окружающей среды благодаря источнику плазмы LEYBOLD OPTICS APSpro. Мы создали идеальную установку для применения в области ИК-излучения в серии SYRUSpro. Мы разработали алмазоподобное углеродное покрытие повышенной износостойкости и прочности, наносимое нашей установкой LEYBOLD OPTICS DLC 600 по технологии плазменно-химического осаждения из газовой фазы (PECVD).

Лазерные и зеркальные покрытия
Лазерные покрытия должны обладать высокой отражающей способностью, низкими потерями и высокими характеристиками в течение всего срока службы, а также высоким порогом лазерной прочности. Компания Бюлер Leybold Optics предлагает широкий ассортимент оборудования и технологий покрытия для всего спектрального диапазона: начиная от глубокого УФ-излучения (DUV), видимого спектра (VIS) и ближнего ИК-излучения (NIR) и заканчивая ИК-диапазоном (IR). Технологии испарения и оборудование подбираются для работы с соответствующей длиной волны.

Для нанесения лазерных покрытий методом магнетронного напыления компания Бюлер Leybold Optics предлагает серию HELIOS – передовое решение для оптических применений. Система HELIOS позволяет получить плотные, стабильные слои покрытия с низкими потерями, высокой отражающей способностью и низким рассеянием. Система оборудована загрузочным шлюзом, что позволяет загружать детали без развакуумирования камеры и делает ее идеальным выбором для установки и высокопроизводительной работы в условиях чистых комнат.

Установки серий SYRUSpro и HELIOS используют различные технологии нанесения покрытий для изготовления широкополосных зеркал с улучшенными системами слоев. Одна из специализированных областей применения — интерференционные зеркала для проекторов, где необходима высокая светоотдача покрытий диэлектрических зеркал, нанесенных на сильно изогнутые подложки. Для решения этой задачи применяется установка SYRUSpro 1510 с поворотной планетарной системой.

Диэлектрические покрытия для фильтров
Учитывая высокий спрос на диэлектрические фильтры, компания Бюлер Leybold Optics в дополнение к установкам нанесения покрытий также предлагает технологические решения по созданию диэлектрических фильтров на приемосдаточных испытаниях. Такие покрытия находят применение в отсекающих фильтрах УФ- и ИК-спектров для цифровых камер и мобильных телефонов, поляризационных светоделителях, полосовых, цветовых фильтрах, многорезонаторных узкополосных фильтрах с высоким уровнем блокировки и т. д.

Система прямого оптического контроля на куполе, осуществляемая с помощью нашего передового устройства LEYBOLD OPTICS OMS 5100 обеспечивает высокую точность нанесения сложнейших покрытий для фильтров, высокую повторяемость производства, а также нанесение покрытий для многорезонаторных фильтров на сферическом сегменте (что недостижимо без непосредственного контроля). Серия установок SYRUSpro для нанесения покрытий методом испарения сочетает в себе все эти достоинства. Системы нанесения покрытий HELIOS еще более совершенны. Их система магнетронного напыления оборудована устройством прямого контроля LEYBOLD OPTICS OMS 5100, позволяющим проводить измерения непосредственно на поворотном столе для подложек, что обеспечивает высокую повторяемость и непревзойденную точность даже для самых сложных оптических характеристик.

О подразделении Leybold Optics компании Бюлер

В начале 2012 года компания Leybold Optics GmbH присоединилась к швейцарскому концерну Бюлер. После ребрендинга, проведенного в 2015 году, подразделение Leybold Optics стало официально именоваться Бюлер Alzenau GmbH и вошло в подразделение «Прогрессивные материалы» в составе концерна Бюлер.