close
Серия вакуумных установок для производства прецизионной оптики SYRUSpro

Серия вакуумных установок для производства прецизионной оптики SYRUSpro – стандарты качества массового производства оптических фильтров в режиме 24/7

- Вакуумные камеры для любых объемов загрузки деталей
- Ключевые компоненты, подобранные под конкретные задачи
- Возможность адаптации для нанесения DUV и ИК покрытий

Серия SYRUSpro

Серия SYRUSpro компании Bühler Leybold Optics – лидер массового производства оптических покрытий для прецизионной оптики, обеспечивающий высокую точность и производительность. Установки SYRUSpro – идеальный выбор для нанесения покрытий от глубокого ультрафиолета (DUV), через видимый спектр (VIS), до инфракрасного (IR) диапазона. Такие установки применяются для изготовления: отрезающих фильтров, блокираторов, узкополосных фильтров, дихроичных цветных фильтров, поляризационных делителей, антиотражающих и высокоотражающих покрытий для лазеров и многого другого. Каждая установка SYRUSpro комплектуется в соответствии с запросами клиента большим количеством запатентованных и стандартизованных компонентов Bühler Leybold Optics. Это позволяет легко модернизировать систему при увеличении требований производства. Новейшие системы управления Bühler Leybold Optics объединяют высокую гибкость настроек и максимальный уровень автоматизации. Все эти характеристики в комплексе гарантируют точную и производительную непрерывную массовую продукцию оптических фильтров в круглосуточном режиме 7 дней в неделю. Рабочие камеры разного размера для максимальной гибкости
Выпускается восемь типоразмеров установок SYRUSpro, с внутренним диаметром рабочей камеры от 710 мм до 2810 мм. Таким образом, мы можем предложить каждому клиенту подходящую камеру в соответствии с объемом производства и размерами подложек: камеры диаметром 1950 мм или 2810 мм идеально подходят для обработки подложек нестандартных размеров.

Широкий ассортимент компонентов для различных процессов

  • Широкое использование запатентованных компонентов Bühler Leybold Optics служит основой разнообразия проверенных технологических процессов, которые мы предлагаем клиентам, и играет основную роль в их успешной работе. 
  • Обширное портфолио компонентов Bühler Leybold Optics гарантирует возможность адаптации установок SYRUSpro под конкретные требования заказчиков. Здесь и система непосредственного оптического мониторинга LEYBOLD OPTICS OMS 5100, и ионно-плазменные источники LEYBOLD OPTICS LION 300, и LEYBOLD OPTICS APSpro. Большой выбор электронно-лучевых и термических испарителей, кварцевых систем измерения и планетарных держателей также подложек подчеркивает универсальность семейства установок SYRUSpro.

Система адаптируется для нанесения DUV покрытий
Компания Bühler Leybold Optics предлагает оптимальные решения для фотолитографии с длиной волны 193 нм. В конструкции таких установок применяются особая обработка поверхностей рабочей камеры, специально подобранные материалы и сочетание компонентов, гарантирующие непревзойденно низкие потери в напыляемых покрытиях. Эти решения актуальны также при нанесении оксидных пленок в процессе создания стабильных зеркал с высокой отражательной способностью, необходимых для работы в глубоком УФ диапазоне.

Системы для нанесения ИК покрытий
Конструкция установки полностью адаптируется для работы в режиме ИК диапазона, компоненты подбираются соответственно для взаимодействия с большим количеством материалов, распыляемых при производстве деталей с ИК покрытиями. Как на плоских, так и на значительно изогнутых подложках получается однородное покрытие с высочайшим качеством слоев по всей поверхности.

О подразделении Leybold Optics компании Бюлер

В начале 2012 года компания Leybold Optics GmbH присоединилась к швейцарскому концерну Бюлер. После ребрендинга, проведенного в 2015 году, подразделение Leybold Optics стало официально именоваться Бюлер Alzenau GmbH и вошло в подразделение «Прогрессивные материалы» в составе концерна Бюлер.