LEYBOLD OPTICS DIS V 系列
采用可扩展布局和强大的加热装置,灵活性高- 可扩展至 Gen 10,该设备的布局可适应特定的客户需求。
- LEYBOLD OPTICS DIS V 系列可将基片加热至高达 350 °C,可实现灵活的产品混合。
- 用于透明导电氧化物 (TCO) 和电介质材料的平面和可旋转阴极可促进使用单台设备的通用产品混合。
可旋转模块,占地面积小
采用不锈钢制可旋转模组的双面式工艺最大程度减少了占地面积并使得经过洁净室验证的设计成为可能。
先进的阴极设计,可实现快速轻松的维护
- 铰接式阴极可实现快速轻松的维护处理。无需吊车即可打开阴极。
- 所有阴极可同时进行维护。