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LEYBOLD OPTICS DIS V 系列玻璃真空镀膜机

LEYBOLD OPTICS DIS V 系列玻璃真空镀膜机 – 适用于所有立式加热连续式溅射应用的强大系统

- 灵活性高
- 占地面积小
- 易于维护

LEYBOLD OPTICS DIS V 系列

LEYBOLD OPTICS DIS V 系列是专门针对洁净室生产需求设计的立式在线溅射镀膜工具，其中最低的颗粒影响极为重要。采用从一侧进行基片的装载和卸载以及两侧进行镀膜的独特折叠式设计保证了洁净室环境下的高效使用以及最小的占地面积。该系统可加工最大尺寸达 Gen 10 的大型基片。视要求而定，该系统可配置为完全无接触式输送解决方案。LEYBOLD OPTICS DIS V 系列可让动态基片加热至高达 350 °C，适用于使用透明导电氧化物和绝缘材料的所有工艺。 采用可扩展布局和强大的加热装置，灵活性高
  • 可扩展至 Gen 10，该设备的布局可适应特定的客户需求。
  • LEYBOLD OPTICS DIS V 系列可将基片加热至高达 350 °C，可实现灵活的产品混合。
  • 用于透明导电氧化物 (TCO) 和电介质材料的平面和可旋转阴极可促进使用单台设备的通用产品混合。

可旋转模块，占地面积小
采用不锈钢制可旋转模组的双面式工艺最大程度减少了占地面积并使得经过洁净室验证的设计成为可能。

先进的阴极设计，可实现快速轻松的维护

  • 铰接式阴极可实现快速轻松的维护处理。无需吊车即可打开阴极。
  • 所有阴极可同时进行维护。

大面积镀膜的部件

工艺技术

大面积镀膜

关于布勒莱宝光学

在 2012 年初，Leybold Optics GmbH 成为总部位于瑞士的布勒集团的子公司：莱宝光学业务部，于 2015 年依法更名为 Bühler Alzenau GmbH，在布勒集团内的先进材料事业部下运营。
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