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用于高真空薄膜应用的技术

膜层的沉积用于改进材料

布勒莱宝光学是高真空薄膜沉积技术的领先系统制造商之一,借助该项技术可为基底增加薄膜镀膜功能。这可以是用于包装箔的防潮层、用于汽车反光镜的反射层、抗反射层、用于光学元件的复杂滤光片、用于天文镜面的高反射性增强和保护层,或用于建筑玻璃应用的隔热层堆叠。薄膜的厚度从几纳米到几微米不等,且可以是单层或者是几百层的层堆叠,与光学滤光片的情况相同。 利用热蒸发或电子束蒸发以及溅射的物理气相沉积 (PVD) 采用硬质沉积材料源。而我们的化学气象沉积系统 (CVD) 使用气体或液体材料。

我们提供全面的真空薄膜沉积技术,从蒸发、溅射、等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 和等离子体辅助反应式磁控溅射 (PARMS) 等技术改进。对于批量生产系统,可提供若干个原位工序控制系统。我们系统适用的镀膜基底尺寸从几微米到用于建筑的 20 m² 以上的及大型玻璃窗格。基底可以是刚性的,也可以是食品包装或电子电容器制造中的柔性基底等。

关于布勒莱宝光学

在 2012 年初,Leybold Optics GmbH 成为总部位于瑞士的布勒集团的子公司:莱宝光学业务部,于 2015 年依法更名为 Bühler Alzenau GmbH,在布勒集团内的先进材料事业部下运营。

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